クリーンルームの静電気を抑える方法です

クリーンルームは工業生産の中の重要な部分で、半導体、平面液晶ディスプレイ、光電子と生物医薬はすべてクリーンな生産作業場を必要とします。通常、クリーンルームは空間空気浮遊粒子濃渡が規制の限界内の部屋や限定空間に制御されて、このほこり粒子の粒径と限定された粒数が小さいほど、クリーン度が高くなります。静電気はクリーンルームにとって間違いなく大きな危害です。主に静電気放電、騒音、電気ショックなどの危害が現れます。どうやってクリーンルームの静電気を制御するかが急務となっています。1、静電気制御の基本原則(1)静電気制御レベルを決定します(2)静電荷の発生をできるだけ少なくします(3)流出と中和の方法静電荷消散を加速します、静電気の蓄積を防止します(4)ESDの損傷から製品を保護します2、静電気制御のレベルを決定します(1)部品、部品、設備の静電気感度のレベル1:0-1999Vの静電気電圧の損傷を受けやすいレベル2:2000-3999Vの静電気電圧の損傷を受けやすいレベル3:4000-5999Vの静電気電圧による破損や敏感な静電気電圧が1万6000 v以上の場合は、静電気防止対策を取る必要はありません。(2)静電防護作業区の等級A級:±100VB vb:±1000V:±1000V:±1000V: 100V、500V、1000Vなどの対応する部品、部品、設備の静電敏感電圧の3級に分けます。3、静電荷の発生をできるだけ小さくするこれは三歩の静電気制御の第一歩で、この浄化作業環境の中で、最も良い措置:(1)できるだけ性質が似ている机材を採用して、接触摩擦分離の過程で静電気電荷の発生を減らします;(2)できるだけ静電気型または静電気散逸型材料の器材を採用して、接触摩擦を減らして分離過程が発生して静電荷を蓄積します;(3)接触摩擦分離による静電荷の発生をできるだけ少なくする生産プロセスを採用します。4、放出して中和するこれは静電気の三歩の曲の第二歩を制御するので、マイクロエレクトロニクス生産の浄化室の中で最も通常の措置は接地するので、導電性あるいは散逸性材料を採用して静電荷を放出して、及びイオン化して電気を消します。(1)接地クリーンルームは1つの独立した静電接地システム(地面の接地金属網支系、生産ラインワークステーションの接地支系を含む)を設けなければならなくて、室内のすべての設備の金属の外殻、移働設備の金属の支柱、静電気を防ぐ器材などが安全で、効果的に静電荷を大地に放出します。作業員の帯電は手首ベルトを通して接地し、また静電気防止靴または踵ベルトを通して静電気防止ベルトを通して大地に向けて流出します。地面、壁面、天井、仕切りなどはハード接地で、設備の外殻、移働机器(車、いす、棚など)、作業台などはソフト接地です。(2)イオン化肖電器のクリーンルームの中で生産組立の部品、PCB、生産ライン、作業ステーションはいつもどうしてもいくつか接地できない絶縁導体と絶縁誘電体材料(例えば大多数の普通のプラスチック)が存在します。いくつかの環境下では、イオン化消電器はこれらの物体の静電荷を局所的に消滅させるのが一般的ですが、多くの場合、空気イオン化により、絶縁体および孤立導体の静電気電荷を中和させます。(3)導電散電材料導電散電材料は導電性があるため、静電荷発散材料でもあります。その上、金属導体より安全性があります。通常、床、壁面、作業台、回転容器、ピンセット、ブラシなどの静電気防止器材に採用されています。5、ESDを防止し、製品を保護静電気を制御する三歩の最後のステップです。マイクロエレクトロニクス生産の浄化室の中で、ESDが静電気に敏感な部品やコンポーネント、PCBの上で発生することを阻止するために、1つの方法は部品とコンポーネントに適切な接地または分岐を提供して製品の上に存在する静電荷を「消散」します;もう1つの方法は適切な包装方法と材料で静電気敏感な装置の包装と輸送を処理します。これらの材料は効果的に電荷が製品に侵入することを遮蔽して、製品が箱の中で移働して発生する静電荷を減らします。国際的には、半導体、平面液晶ディスプレイ、光電子の発展は非常に速く、集積度はますます高くなり、チップの線径はますます細くなり、静電気防止への要求はますます高くなっている。米国ESD協会はANS ESD S 20.20-1999静電放電制御アウトラインの改訂を開始しました。これは部品の使用者に1つの警告を与えて、人員あるいは設備が設備の製造を行う時、あなたに必要な環境の制御要求を教えます。もしEPA域内で二五vまで電圧が許されていたとしたら、我々の持っている静電気防止器具、装備、工具、工事は大変な努力をしなければならなかったでしょう。